High-precision magnetic levitation stage for photolithography

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标题	High-precision magnetic levitation stage for photolithography
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S014163599...
DOI	10.1016/s0141-6359(98)00009-9 doi
其它	期刊：Precision Engineering-journal of The International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology 作者：Won-jong Kim; D. Trumper 出版日期：1998-04-01
求助人	trump 在 2026-10-22 23:56:02 发布自美国，悬赏 10 积分
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