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标题
Laser Assisted Patterning of a-Si:H: Detailed Investigation of Laser Damage
a-Si:H激光辅助图案化:激光损伤的详细研究
相关领域
材料科学 钝化 激光器 蚀刻(微加工) 图层(电子) 激光烧蚀 基质(水族馆) 光电子学 非晶硅 无定形固体 辐照 扫描电子显微镜 各向同性腐蚀 透射电子显微镜 异质结 晶体硅 光学 纳米技术 复合材料 化学 结晶学 核物理学 地质学 物理 海洋学
网址
DOI
10.1002/pssr.201700125 doi
其它 期刊:Physica Status Solidi (rrl)
作者:Menglei Xu; Twan Bearda; Hariharsudan Sivaramakrishnan Radhakrishnan; Miha Filipič; Ivan Gordon; et al
出版日期:2017-07-26
求助人
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