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 In-system photoelectron spectroscopy study of tin oxide layers produced from tetrakis(dimethylamino)tin by plasma enhanced atomic layer deposition 等离子体增强原子层沉积四（二甲氨基）锡氧化锡层的系统内光电子能谱研究
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期刊：Journal of vacuum science & technology. A. Vacuum, surfaces, and films 作者：Ganna Chistiakova; Mathias Mews; Regan G. Wilks; Marcus Bär; Lars Korte 出版日期：2018-01-29 |
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