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![]() 使用氢倍半硅氧烷的WSe2金属-绝缘体-半导体场效应晶体管的自对准接触掺杂
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期刊:ACS Applied Electronic Materials 作者:Ho Hyun Im; Dongryul Lee; Geonyeop Lee; Hong-Yeol Kim; Jihyun Kim 出版日期:2023-04-07 |
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