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 Precise and practical 3D topography simulation of high aspect ratio contact hole etch by using model optimization algorithm 基于模型优化算法的高纵横比接触孔刻蚀三维形貌模拟
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期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Tetsuya Nishizuka; Ryo Igosawa; T. Yokoyama; Kaoru Sako; Hironori Moki; et al 出版日期：2024-06-10 |
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