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 Surface reaction modelling of thermal atomic layer etching on blanket hafnium oxide and its application on high aspect ratio structures 相关领域
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：Andreas Fischer; David S. L. Mui; Aaron Routzahn; Ryan J. Gasvoda; Jim Sims; et al 出版日期：2022-12-28 |
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