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  Ultrathin transparent Copper(I) oxide films grown by plasma-enhanced atomic layer deposition for Back-end-of-line p-Type transistors 相关领域
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期刊：Nano Express 作者：Hagyoul Bae; Adam Charnas; Wonil Chung; Mengwei Si; Xiao Lyu; et al 出版日期：2021-05-14 |
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