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 Study on irradiation effects by femtosecond-pulsed extreme ultraviolet in resist materials 飞秒脉冲极紫外对抗蚀剂材料的辐照效应研究
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期刊： 作者：Yuji Hosaka; Hiroki Yamamoto; Masahiko Ishino; Thanh-Hung Dinh; Masaharu Nishikino; et al 出版日期：2023-05-01 |
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