| 标题 |
  On real-scale LIDT testing for high power, high repetition rate CO2 lasers for EUV lithography 相关领域
极紫外光刻
光学
激光器
通量
计量学
梁（结构）
材料科学
纳秒
激光束质量
光电子学
平版印刷术
功率（物理）
航程（航空）
脉冲持续时间
脉搏（音乐）
高动态范围
激光束
辐照度
光功率
光刻
半导体激光器理论
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| 网址 | |
| DOI |
10.1117/12.3071914
doi
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| 其它 |
期刊：Laser-Induced Damage in Optical Materials 2025 作者：Florian Zentgraf; Marcel Murr; Kathrin Kromer; Adrian Schürg; Oliver Schlosser; et al 出版日期：2025-12-18 |
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