Innovative Studies for Ultra High Aspect Ratio Deep Trench Etch

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标题	[高分] Innovative Studies for Ultra High Aspect Ratio Deep Trench Etch 超高长宽比深沟刻蚀的创新研究
网址	https://www2.avs.org/symposium2006/Papers/Paper_MS-TuA9.html
DOI	暂未提供，该求助的时间将会延长，查看原因？
求助人	袁千凝在 2023-10-30 14:57:19 发布自江苏，悬赏 60 积分
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1年前，求助关闭

科研通管家机器人关闭了本次求助。

说明求助超时（查看超时原因）自动关闭，请核实信息是否正确，如果确实需要，您可重新发布求助。【积分已退回】
1年前

碧蓝筝 Lv4 撤回了碧蓝筝上传的文件。

说明文件不完整
1年前

袁千凝 Lv1 求助人进行了留言

@碧蓝筝 ProgramBook_Session_MS-TuA.pdf (1005.97 KB)

你好，我需要Innovative Studies for Ultra High Aspect Ratio Deep Trench Etch这篇会议文献的内容，现在上传的文件似乎是会议摘要？
1年前

碧蓝筝 Lv4 上传了文件

已撤回 ProgramBook_Session_MS-TuA.pdf (1005.97 KB)
1年前

袁千凝 Lv1 求助人发起了本次求助

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