Kinetic simulations of low temperature plasmas used for plasma processing

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标题	Kinetic simulations of low temperature plasmas used for plasma processing 用于等离子体处理的低温等离子体的动力学模拟相关领域等离子体动能蒙特卡罗方法德拜鞘层计算物理学统计物理学材料科学物理机械经典力学数学量子力学统计
网址	https://doi.org/10.1117/12.3012539
DOI	10.1117/12.3012539 doi
其它	期刊：作者：Thomas G. Jenkins; Daniel Main; Eve Lanham; Scott Kruger; John R. Cary 出版日期：2024-04-09
求助人	含糊的雨安在 2025-07-15 22:26:51 发布自上海，悬赏 20 积分
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