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  Multi-Level Nanoimprint Lithography for Large-Area Thin Film Transistor Backplane Manufacturing 用于大面积薄膜晶体管背板制造的多级纳米压印光刻
相关领域
纳米压印光刻
材料科学
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期刊：Journal of Photopolymer Science and Technology 作者：Tamer Dogan; Joris de Riet; Thijs Bel; Roy Verbeek; Ilias Katsouras; et al 出版日期：2020-06-30 |
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