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 Measuring line edge roughness with pixel sizes larger than its value: a mathematical and computational approach 测量像素尺寸大于其值的线边缘粗糙度：一种数学和计算方法
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期刊：Journal of Micro/Nanopatterning Materials and Metrology 作者：George Papavieros; Vassilios Constantoudis; Ν. Vouroutzis; Εvangelos Gogolides 出版日期：2021-08-19 |
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Elisbaiqueen
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