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  Thin and locally dislocation-free SiGe virtual substrate fabrication by lateral selective growth 横向选择性生长制备薄的局部无位错SiGe虚衬底
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期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Y. Yamamoto; Wei-Chen Wen; Markus Andreas Schubert; Agnieszka Anna Corley‐Wiciak; Sho Sugawa; et al 出版日期：2023-12-25 |
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