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标题
Thin and locally dislocation-free SiGe virtual substrate fabrication by lateral selective growth
横向选择性生长制备薄的局部无位错SiGe虚衬底
相关领域
材料科学 化学气相沉积 基质（水族馆） 位错 制作 极限抗拉强度 支柱 拉伸应变 拉伤 蚀刻（微加工） 复合材料 图层（电子） 光电子学 结构工程 医学 海洋学 病理 内科学 工程类 地质学 替代医学
网址
https://doi.org/10.35848/1347-4065/ad189d
AI链接 iop.org handle.net ugent.bedoi.org
DOI
10.35848/1347-4065/ad189d doi
其它 期刊：Japanese Journal of Applied Physics
作者：Y. Yamamoto; Wei-Chen Wen; Markus Andreas Schubert; Agnieszka Anna Corley‐Wiciak; Sho Sugawa; et al
出版日期：2023-12-25
求助人
yuan 在 2025-08-29 20:21:48 发布，悬赏 10 积分
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