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 CMP characteristics of IGZO thin film with a variety of process parameters 不同工艺参数下IGZO薄膜的CMP特性
相关领域
材料科学
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薄膜
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期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Wei Wang; M. Zeng; Chao Tian; Hongbo Sun; Kai Cui; et al 出版日期：2024-05-15 |
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