Synthesis of low resistivity ITO films by a low-pressure plasma sputtering

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标题	Synthesis of low resistivity ITO films by a low-pressure plasma sputtering 低压等离子体溅射法合成低电阻率ITO薄膜相关领域范德堡法电阻率和电导率溅射材料科学托尔分析化学（期刊）等离子体激发阴极沉积（地质）薄膜光电子学纳米技术电气工程化学霍尔效应物理沉积物色谱法古生物学工程类热力学生物量子力学
网址	https://doi.org/10.1117/12.3050738
DOI	10.1117/12.3050738 doi
其它	期刊：作者：Suning Luo 出版日期：2024-12-12
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