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Hyperdoping of silicon films with titanium via nanosecond-laser melting: Structure evolution, impurity distribution, sub-bandgap formation, and doping mechanism
纳秒激光熔化钛对硅薄膜的超掺杂：结构演化、杂质分布、亚带隙形成和掺杂机制
相关领域
材料科学 带隙 杂质 光电子学 无定形固体 兴奋剂 通量 薄膜 结晶度 纳米晶材料 纳秒 硅 激光器 分析化学（期刊） 光学 纳米技术 复合材料 结晶学 化学 物理 有机化学 色谱法
网址
https://doi.org/10.1016/j.optlastec.2021.107637
DOI
10.1016/j.optlastec.2021.107637 doi
其它 期刊：Optics and Laser Technology
作者：C. Wen; Zhenqi Shi; J.X. Wang; Jiajie Tang; Y.B. Zhang; et al
出版日期：2021-11-11
求助人
大恩区 在 2025-05-17 17:03:52 发布自福建，悬赏 10 积分
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