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Modeling and optimizing femtosecond laser process parameters for high-efficient and near damage-free micromachining of single-crystal GaN substrate
单晶GaN衬底高效近无损微加工飞秒激光工艺参数建模与优化
相关领域
材料科学 飞秒 激光器 氮化镓 表面微加工 基质（水族馆） 光电子学 激光功率缩放 响应面法 光学 复合材料 计算机科学 制作 医学 海洋学 物理 替代医学 病理 地质学 图层（电子） 机器学习
网址
https://doi.org/10.1016/j.mssp.2022.107123
DOI
10.1016/j.mssp.2022.107123 doi
其它 期刊：Materials Science in Semiconductor Processing
作者：Huilai Wei; Chuanzhen Huang; Hanlian Liu; Dun Liu; Peng Yao; et al
出版日期：2022-10-13
求助人
高兴新梅 在 2025-06-10 15:53:06 发布自江苏，悬赏 10 积分
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