Modeling and optimizing femtosecond laser process parameters for high-efficient and near damage-free micromachining of single-crystal GaN substrate

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作者
Huilai Wei,Chuanzhen Huang,Hanlian Liu,Dun Liu,Peng Yao,Dongkai Chu
出处
期刊:Materials Science in Semiconductor Processing [Elsevier BV]
卷期号:153: 107123-107123 被引量:9
标识
DOI:10.1016/j.mssp.2022.107123

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