Atomic layer deposition and other thin film deposition techniques: from principles to film properties

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标题	Atomic layer deposition and other thin film deposition techniques: from principles to film properties
网址	https://doi.org/10.1016/j.jmrt.2022.10.064
DOI	10.1016/j.jmrt.2022.10.064 doi
其它	期刊：Journal of materials research and technology 作者：James Ayodele Oke; Tien‐Chien Jen 出版日期：2022-10-19
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