High-performance ITZO thin films: a systematic study of the influence of the sputtering process on the target and the TFT devices

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标题	High-performance ITZO thin films: a systematic study of the influence of the sputtering process on the target and the TFT devices
网址	http://pubs.rsc.org/TC/article-pdf/doi/10.1039/D6TC00375C/0/...
DOI	10.1039/d6tc00375c doi
其它	期刊：Journal of Materials Chemistry C 作者：Zhihao Liang; Weijing Wu; Wei Cai; Yonglin Yang; Nan Ji; et al 出版日期：2026-08-11
求助人	怕孤单的小虾米在 2026-08-17 16:51:58 发布自河南，悬赏 10 积分
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