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 Monolithic 3D integration of atomic-layer-deposited oxide semiconductors on 200-mm silicon wafers 相关领域
材料科学
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期刊：Nature Nanotechnology 作者：Chang Niu; Linjia Long; Luqi Zheng; Shuting Du; Jian-Yu Lin; et al 出版日期：2026-09-15 |
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