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Plasma etching behavior and microstructural characteristics of single-phase (Ti, Zr, Hf, Nb, Ta)C under different CF4/O2/Ar gas compositions
网址
http://dx.doi.org/10.1016/j.ceramint.2026.07.337
DOI
10.1016/j.ceramint.2026.07.337 doi
其它 期刊：Ceramics International
作者：Changhae Oh; Sujin Woo; Nayoung Ham; Kangduk Kim
出版日期：2026-07-01
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LXC 在 2026-09-07 12:22:40 发布自上海，悬赏 10 积分
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