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标题
Machine learning for rapid inference of critical dimensions in optical metrology of nanopatterned surfaces
纳米图案化表面光学计量中关键尺寸快速推断的机器学习
相关领域
计量学 平版印刷术 计算机科学 特征（语言学） 材料科学 推论 光学 算法 纳米技术 人工智能 光电子学 物理 语言学 哲学
网址
https://doi.org/10.1016/j.cirpj.2023.10.001
DOI
10.1016/j.cirpj.2023.10.001 doi
其它 期刊：CIRP journal of manufacturing science and technology
作者：Ramin Sabbagh; Alec Stothert; Dragan Djurdjanović
出版日期：2023-10-20
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活着 在 2025-12-30 12:45:41 发布自北京，悬赏 10 积分
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