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[高分] Two-dimensional spatial distribution and production mechanism of H− ions in cylindrical inductively coupled H2 discharges
圆柱形电感耦合H2放电中H离子的二维空间分布及产生机理
相关领域
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网址
http://dx.doi.org/10.1063/5.0055320
DOI
10.1063/5.0055320 doi
求助人
Layman 在 2025-11-15 11:22:08 发布自重庆，悬赏 50 积分
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