Impact of plasma induced damage on the fabrication of 3D NAND flash memory

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标题	Impact of plasma induced damage on the fabrication of 3D NAND flash memory
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.sse.2022.108261
DOI	10.1016/j.sse.2022.108261 doi
其它	期刊：Solid-State Electronics 作者：Tobias Reiter; Xaver Klemenschits; Lado Filipovic 出版日期：2022-06-01
求助人	11 在 2026-10-27 14:17:15 发布自北京，悬赏 10 积分
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