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 Zirconium dioxide thin films deposited by ALE using zirconium tetrachloride as precursor 以四氯化锆为前驱体的ALE沉积二氧化锆薄膜
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期刊：Applied Surface Science 作者：Mikko Ritala; Markku Leskelä 出版日期：1994-01-01 |
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