Zirconium dioxide thin films deposited by ALE using zirconium tetrachloride as precursor

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作者
Mikko Ritala,Markku Leskelä
出处
期刊:Applied Surface Science [Elsevier BV]
卷期号:75 (1-4): 333-340 被引量:161
标识
DOI:10.1016/0169-4332(94)90180-5
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