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 Fabrication of highly sensitive capacitive pressure sensors with porous PDMS dielectric layer via microwave treatment 微波处理多孔PDMS介质层制备高灵敏度电容式压力传感器
相关领域
聚二甲基硅氧烷
制作
材料科学
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期刊：Microelectronic Engineering 作者：Yeongjun Kim; Shin Jang; Je Hoon Oh 出版日期：2019-07-01 |
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