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Improved frequency response of the 3.5 GHz SMR devices using Ga-doped AlN thin films as the piezoelectric layers
Ga掺杂AlN薄膜作为压电层改善3.5 GHz SMR器件的频率响应
相关领域
材料科学 溅射 薄膜 压电 氮化物 光电子学 衍射 氮化镓 溅射沉积 兴奋剂 光学 复合材料 图层(电子) 纳米技术 冶金 物理
网址
DOI
10.1142/s0217984922501251 doi
其它 期刊:
作者:Yu-Chen Chang; Ying-Chung Chen; Ruei-Ting Huang; Yu-Ting Chen; Su-Ciang Chen; et al
出版日期:2022-09-22
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赖飞阳 在 2024-05-16 05:44:51 发布自天津,悬赏 30 积分
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