The application of a new stochastic search algorithm “Adam” in inverse lithography technology (ILT) in critical recording head fabrication process

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标题	The application of a new stochastic search algorithm “Adam” in inverse lithography technology (ILT) in critical recording head fabrication process 一种新型随机搜索算法“Adam”在逆光刻技术(ILT)关键记录头制造工艺中的应用相关领域平版印刷术计算光刻反向算法计算机科学临界尺寸下一代光刻过程（计算）光刻 X射线光刻材料科学数学抵抗光学纳米技术物理光电子学电子束光刻几何学操作系统图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1117/12.2583508
DOI	10.1117/12.2583508 doi
其它	期刊：作者：Dan Yu; Yi Liu; Chuck Hawkinson 出版日期：2021-02-19
求助人	积极人偶酱在 2025-04-06 18:53:56 发布自广西，悬赏 20 积分
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