SIC mirrors polishing

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标题	SIC mirrors polishing SIC镜面抛光相关领域抛光碳化硅材料科学涂层硅化学机械平面化冶金光学复合材料物理
网址	https://doi.org/10.1117/12.2304197
DOI	10.1117/12.2304197 doi
其它	期刊：International Conference on Space Optics — ICSO 2020 作者：J. Ferré; H. Leplan; Roland Geyl; Bernd Harnisch; J. Rodolfo; et al 出版日期：2017-11-16
求助人	Maxwell 在 2025-06-05 09:43:38 发布自中国，悬赏 20 积分
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