| 标题 |
MBMW 401 tool for 2nm and sub-2nm EUV masks |
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| DOI |
10.1117/12.3065985
doi
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| 其它 |
期刊: 作者:Johannes Leitner; Christoph Spengler; P. Hudek; Hans Löschner; Elmar Platzgummer 出版日期:2025-09-23 |
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(2025-6-4)