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Morphology and crystallization kinetics in HfO2 thin films grown by atomic layer deposition
原子层沉积HfO2薄膜的形貌和结晶动力学
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期刊:Journal of applied physics 作者:M.-Y. Ho; Hao Gong; G. D. Wilk; B. Busch; M. L. Green; et al 出版日期:2003-02-01 |
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