Role of trace moisture in low temperature thermal ALD of titanium dioxide using tetrakis(dimethylamido) titanium (IV) and molecular oxygen

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标题	Role of trace moisture in low temperature thermal ALD of titanium dioxide using tetrakis(dimethylamido) titanium (IV) and molecular oxygen
网址	https://doi.org/10.1116/6.0004434
DOI	10.1116/6.0004434 doi
其它	期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Harshdeep Bhatia; Gregory Jursich; Christos G. Takoudis 出版日期：2025-05-27
求助人	limo 在 2026-07-14 12:42:26 发布自上海，悬赏 10 积分
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