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标题
Surface reaction modelling of thermal atomic layer etching on blanket hafnium oxide and its application on high aspect ratio structures
网址
https://doi.org/10.1116/6.0002244
DOI
10.1116/6.0002244 doi
其它 期刊：Journal of vacuum science & technology
作者：Andreas Fischer; David S. L. Mui; Aaron Routzahn; Ryan J. Gasvoda; Jim Sims; et al
出版日期：2022-12-28
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自由新筠 在 2026-09-02 15:30:25 发布自中国，悬赏 10 积分
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