Absolute measurement of vacuum ultraviolet photon flux in an inductively coupled plasma using a Au thin film

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标题	Absolute measurement of vacuum ultraviolet photon flux in an inductively coupled plasma using a Au thin film
网址	https://doi.org/10.1116/6.0001709
DOI	10.1116/6.0001709 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B 作者：Linfeng Du; Paul Ruchhoeft; Demetre J. Economou; Vincent M. Donnelly 出版日期：2022
求助人	米香脆在 2026-06-15 22:26:24 发布自中国香港，悬赏 10 积分
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