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标题
Growth and characterization of 4H-SiC epilayers on substrates with different off-cut angles
不同切角衬底上4H-SiC外延层的生长与表征
相关领域
材料科学 位错 基质(水族馆) 外延 蚀刻(微加工) GSM演进的增强数据速率 接触角 兴奋剂 表征(材料科学) 结晶学 基面 航程(航空) 分析化学(期刊) 分子物理学 光电子学 纳米技术 复合材料 化学 地质学 海洋学 电信 色谱法 图层(电子) 计算机科学
网址
DOI
10.1063/1.2137442 doi
其它 期刊:Journal of Applied Physics
作者:W. Chen; M. A. Capano
出版日期:2005-12-01
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