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 Zr-Al 16 wt. % and Na2CrO4 composite particles used for Na dispenser and its reaction kinetic 钠分配器用Zr-Al 16 wt.%和Na2CrO4复合颗粒及其反应动力学
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena 作者：Wentao Song; Chao Zhang; Ruibin Ma; Ziyuan Zhong; Heng Zhao; et al 出版日期：2022-08-03 |
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