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Chemical vapor deposition of sp2-boron nitride films on Al2O3 (0001), (112¯), (11¯02), and (101¯) substrates 相关领域
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期刊:Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者:Sachin Sharma; Laurent Souqui; Henrik Pedersen; Hans Högberg 出版日期:2022-04-01 |
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