Advanced approach of bulk (111) 3C-SiC epitaxial growth

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标题	Advanced approach of bulk (111) 3C-SiC epitaxial growth
网址	https://doi.org/10.1016/j.mee.2023.112116
DOI	10.1016/j.mee.2023.112116 doi
其它	期刊：Microelectronic Engineering 作者：C. Calabretta; V. Scuderi; C. Bongiorno; R. Anzalone; R. Reitano; et al 出版日期：2024
求助人	精灵半岛在 2026-01-29 16:30:04 发布自山西，悬赏 10 积分
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