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Low‐Pressure, Modified Halide Vapor‐Phase Epitaxy for Chemically Pure GaN Epilayers 化学纯GaN外延层的低压改性卤化物气相外延
相关领域
卤化物
外延
气相
材料科学
光电子学
相(物质)
化学
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无机化学
热力学
图层(电子)
物理
有机化学
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期刊:physica status solidi (b) 作者:Jacob H. Leach; Kevin Udwary; Gregg Dodson; Binh Tinh Tran; Heather Splawn 出版日期:2024-03-04 |
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