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  Enhanced quality of Al 2 O 3 /SiC gate stack via microwave plasma annealing 微波等离子体退火提高Al2O3/SiC栅叠层质量
相关领域
微波食品加热
材料科学
等离子体
堆栈（抽象数据类型）
退火（玻璃）
光电子学
工程物理
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冶金
工程类
电信
物理
操作系统
量子力学
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期刊：Rare Metals 作者：Nan Nan You; Xin Yu Liu; Qian Zhang; Zhen Wang; Jia-Yi Wang; et al 出版日期：2024-06-07 |
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