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 Flow-modulated deposition of sp2-boron nitride using diborane and ammonia on chemomechanically polished (0001) 4H-SiC substrates 使用乙硼烷和氨在化学机械抛光（0001）4H-SiC衬底上流动调制沉积sp2-氮化硼
相关领域
二硼烷
材料科学
无定形固体
化学计量学
氮化硼
化学气相沉积
分析化学（期刊）
透射电子显微镜
纳米晶材料
微观结构
微晶
硼
复合材料
纳米技术
结晶学
冶金
化学
有机化学
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：Philip M. Jean-Remy; Matthew J. Cabral; R. F. Davis 出版日期：2022-02-22 |
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