Study of the Machining Principle and Influencing of Ultrasonic Lapping on SiC Single Crystal

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标题	Study of the Machining Principle and Influencing of Ultrasonic Lapping on SiC Single Crystal 超声研磨SiC单晶的加工原理及影响因素研究相关领域研磨超声波传感器材料科学机械加工超声波加工脆性 Crystal（编程语言）振动机械工程声学冶金工程类计算机科学物理程序设计语言
网址	https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/amr.411.102
DOI	10.4028/www.scientific.net/amr.411.102 doi
其它	期刊：Advanced materials research 作者：Qiang Xiao 出版日期：2011-11-01
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