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 Measurement of physical thicknesses in micromachined structures consisting of glass and c-Si, by Fourier transform infrared reflection 用傅里叶变换红外反射法测量由玻璃和c-Si组成的微机械结构的物理厚度
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期刊：Optical Engineering 作者：M. Kildemo 出版日期：2002-07-26 |
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