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THE EFFECT OF SURFACE CLEANING AND REMOVING OF ORGANIC CONTAMINANTS FROM SILICON SUBSTRATES AND ITO GLASS BY ATMOSPHERIC PRESSURE NON-THERMAL PLASMA
常压低温等离子体对硅衬底和ITO玻璃表面有机污染物的清洗和去除效果
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期刊：Chemicke Listy 作者：Veronika Medvecká; Anna Zahoranová; Dušan Kováčik; Ján Greguš 出版日期：2012-01-01 |
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