Extending immersion lithography down to 1x nm production nodes - 科研通

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标题	Extending immersion lithography down to 1x nm production nodes 相关领域浸没式光刻极紫外光刻多重图案沉浸式（数学）平版印刷术覆盖材料科学下一代光刻计算机科学临界尺寸光电子学扫描仪光刻纳米技术光学抵抗物理电子束光刻程序设计语言纯数学图层（电子）数学
网址	http://dx.doi.org/10.1117/12.915807
DOI	10.1117/12.915807 doi
求助人	Mengqi 在 2025-10-01 20:49:53 发布自湖南，悬赏 20 积分
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