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 Ultra-low loss dispersion-engineered silicon nitride waveguides on 300 mm wafers 300 mm晶片上的超低损耗色散工程氮化硅波导
相关领域
薄脆饼
材料科学
氮化硅
色散（光学）
光电子学
硅
氮化物
光学
复合材料
物理
图层（电子）
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期刊：Integrated Optics: Devices, Materials, and Technologies XXIX 作者：Erin Kim; Lewis Carpenter; Amos M. Smith; Christopher C. Tison; Daniel Coleman; et al 出版日期：2025-01-25 |
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