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 Nonaqueous development of silsesquioxane electron beam resist 倍半硅氧烷电子束抗蚀剂的非水显影
相关领域
倍半硅氧烷氢
抵抗
材料科学
纳米技术
水溶液
制作
微电子
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病理
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Microelectronics and Nanometer Structures Processing Measurement and Phenomena 作者：Gerard M. Schmid; Leslie Carpenter; J. Alexander Liddle 出版日期：2004-11-01 |
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